Phi1200mm maximum aperture plane optical interference testing device
The invention discloses a Phi1200mm large aperture plane optical interference test device, which comprises an integrated control module, a laser light source module, a small port interference test module, a large port interference test module, an imaging module, a switching module and a rapid alignm...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!