Phi1200mm maximum aperture plane optical interference testing device

The invention discloses a Phi1200mm large aperture plane optical interference test device, which comprises an integrated control module, a laser light source module, a small port interference test module, a large port interference test module, an imaging module, a switching module and a rapid alignm...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ZHANG ZHIHUA, HUANG DAN, WANG XUEZHU, ZHAO ZIJIA, CHEN HUI, GE RUIHONG, ZHAO ZHILIANG, CHUNYU YONGXIN
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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