Silicon carbide crystal growth device and control method

The invention discloses a silicon carbide crystal growth device and a control method. The silicon carbide crystal growth device comprises a crucible body; a crucible cover; a connection mechanism; the flow guide assembly is arranged in the flow guide channel, the flow guide assembly comprises a firs...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ZHOU LAIPING, LI WEIYUE, CHEN JUNHONG, LI ZHAOYING
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!