VCSEL laser and preparation method thereof

The invention provides a VCSEL laser and a preparation method thereof. The VCSEL laser comprises: an epitaxial structure; a seed metal layer formed on the epitaxial structure and electrically connected to the epitaxial structure; the first electrode is formed on the seed metal layer and electrically...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TIAN ZHIWEI, WANG CHAOCHENG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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