VCSEL laser and preparation method thereof
The invention provides a VCSEL laser and a preparation method thereof. The VCSEL laser comprises: an epitaxial structure; a seed metal layer formed on the epitaxial structure and electrically connected to the epitaxial structure; the first electrode is formed on the seed metal layer and electrically...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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