Boron trichloride purification device
The invention discloses a boron trichloride purification device, and relates to the technical field of boron trichloride. The device comprises a raw material flow convergence channel, a boron trichloride adsorption system, a filter, a rectifying tower, a liquefier, a finished product storage mechani...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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