LIGHT IRRADIATION DEVICE

The present invention provides a light irradiation device equipped with a plurality of excimer lamps, and capable of achieving high startability for each of the excimer lamps while suppressing increase in physical strength required for a light extraction surface. The light irradiation device is prov...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: YAGYU HIDEAKI
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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