Cooling device and vertical furnace system

The invention provides a cooling device and a vertical furnace system. The cooling device comprises a liquid supply device, a liquid return device and a plurality of coil pipes, wherein the coil pipesare arranged on the outer wall of a vertical furnace body from the top to the bottom of the vertical...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: YAN SHIQUAN
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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