INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
An integrated circuit (IC) device includes a fin-type active region extending lengthwise in a first direction, a plurality of nanosheets overlapping each other in a second direction on a fin top surface of the fin-type active region, and a source/drain region on the fin-type active region and facing...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
Schlagworte: | |
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