Preparation method of silicon wafer micro-nano turbid transparent composite suede and application thereof

The invention discloses a preparation method of a silicon wafer micro-nano turbid transparent composite suede. The method comprises the following steps: forming a micron-sized pitted surface layer onthe surface of a silicon wafer by sand blasting equipment; further manufacturing a nanoscale pitted s...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ZU JICAI, QIU ZHONGCAI, HUANG SHUANGZHI, LU ZHANG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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