Optical signal collecting device and etching equipment

The invention provides an optical signal collecting device. The optical signal collecting device comprises a mounting sleeve, an optical signal collecting piece and a light transmitting piece. The optical signal collecting piece comprises a light guide cavity, and an inlet of the light guide cavity...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GUO SHIXUAN, SHI ZHEYUAN, HOU WENTAN, LOU FENGRUI, CAO YONGYOU
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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