Jet flow type electrochemical deposition device
The invention discloses a jet flow type electrochemical deposition device. The device comprises an electroplating bath, wherein one or more jet flow mechanisms, cathodes and the anodes can be arrangedside by side in the electroplating tank, electrolysis on one or more substrates can be met, a substr...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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