Jet flow type electrochemical deposition device

The invention discloses a jet flow type electrochemical deposition device. The device comprises an electroplating bath, wherein one or more jet flow mechanisms, cathodes and the anodes can be arrangedside by side in the electroplating tank, electrolysis on one or more substrates can be met, a substr...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HOU LIRAN, XIONG BANGGUO
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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