Second-stage symmetric flexible hinge amplification mechanism based piezoelectric stack micro-pump

The invention discloses a second-stage symmetric flexible hinge amplification mechanism based piezoelectric stack micro-pump which comprises a one-way outlet valve, a one-way inlet valve, a valve cover, a pump cavity, buffer channels, elastic balls, a sealing ring, a vibration membrane, an upper fla...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CHENG FANG, XU BIN, HU MIN, TANG GANG, XIE GAOYANG, HUANG LIANG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!