一种细微盲孔直流电镀填孔药水

本发明公开了一种细微盲孔直流电镀填孔药水,包括润湿剂、高效抑制剂、加速剂和整平剂,润湿剂起到增加铜面润湿性的作用,避免因孔内铜离子消耗未及时而产生孔内空洞。高效抑制剂有效吸附在孔口附近,阻止孔口铜生长,改善了细微盲孔孔口处电镀铜生长过快导致的包孔现象。加速剂可进入孔内并随电镀进行快速富集,以使孔内镀速高于孔外镀速,达到高效填孔的效果。整平剂与孔口处负电荷密集的部位结合,抑制孔口镀铜的速度,避免产生孔内空洞。上述组分协同作用,实现了对细微、高厚径比盲孔的高效电镀填孔,通过直流电镀即可完成填孔工艺,成本低廉,填孔效率、质量高,对设备要求低,适宜于处理孔径低于60μm、厚径比大于1的盲孔填孔工艺。...

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Format: Patent
Sprache:chi
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