Overcoming mechanism for frame effect of winding magnetron sputtering coating system

The invention relates to an overcoming mechanism for a frame effect of a winding magnetron sputtering coating system. The overcoming mechanism for the frame effect of the winding magnetron sputtering coating system comprises brackets, a linking baffle and a roller frame, wherein the roller frame is...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LI FANG, SONG YARUI, MA JIANWEI, QI ZENGLU, SHI WEI
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!