Micromechanical structure and method for setting the working gap width of a micromechanical structure

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FRIEDRICH THOMAS, RAUDZIS CARSTEN, MEISEL DANIEL CHRISTOPH
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERATION MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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