Liquid-phase epitaxial graphite boat capable of continuously growing multiple layers of films and preventing residue of mother liquid

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: QIU FENG, DENG HUIYONG, HU SHUHONG, LV YINGFEI, WANG QIWEI, DAI NING, GUO JIANHUA, SUN CHANGHONG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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