Method for collection of hexachlorodisilane and plant for the method

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MATSUO YASUFUMI, SUGIMURA SHIN, TAKEMURA KOUICHI
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TRANSPORTING
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