Vacuum pump

A vacuum pump comprises a molecular drag pumping mechanism and a regenerative pumping mechanism. A rotor element of the molecular drag pumping mechanism surrounds rotor elements of the regenerative pumping mechanism.

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Hauptverfasser: STUART MARTIN N, STONES IAN D, SCHOFIELD NIGEL P
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A vacuum pump comprises a molecular drag pumping mechanism and a regenerative pumping mechanism. A rotor element of the molecular drag pumping mechanism surrounds rotor elements of the regenerative pumping mechanism.