Slurry supply system

A slurry supply system with multiple supply modules and a flushing module concurrently coupled to the multiple supply modules is provided. Each supply module includes a slurry reservoir and at least one delivery line connecting to the slurry reservoir, wherein each delivery line is oriented toward a...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TAN PAUL, YANG CHIHIANG, HSU MING-TZUNG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!