Anordnung für eine Membrandruckmesszelle

Eine Membrandruckmesszellenanordnung enthält einen Gehäusekörper (2) mindestens teilweise aus Saphir und eine Saphir-Membran (6) mit einem peripheren Randbereich, welcher mit einer Dichtung (8) mit dem Gehäusekörper (2) verbunden ist, um eine Referenzvakuumkammer (5) zu bilden. Eine äussere Oberfläc...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TOVE MANSELIN, JARKKO ANTILA, GAETAN DUPLAIN, WALTER CHRISTIAN BERNER, PER BJOERKMAN, OSKAR UNTERMARZONER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PHYSICS TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Membrandruckmesszellenanordnung enthält einen Gehäusekörper (2) mindestens teilweise aus Saphir und eine Saphir-Membran (6) mit einem peripheren Randbereich, welcher mit einer Dichtung (8) mit dem Gehäusekörper (2) verbunden ist, um eine Referenzvakuumkammer (5) zu bilden. Eine äussere Oberfläche der Membran (6) ist gegenüber einem zu messenden Medium ausgesetzt. Ein keramischer Trägerkörper (1) ist an der Rückseite des Gehäusekörpers (2) mit Dichtungsglas (8´) angeordnet, und dieser weist eine überhängende Fläche auf, welche über den Umfang des Gehäusekörpers (2) hervorragt und eine erste Dichtfläche bildet zur Aufnahme eines Metalldichtungsringes (18). Ein rohrförmiges Messzellengehäuse (19) nimmt die Messzelle auf, montiert am keramischen Trägerkörper (1), wobei das rohrförmige Sensorgehäuse (19) innerhalb eine umschliessende zweite Dichtfläche (35) aufweist, die mit der ersten Dichtfläche korrespondiert. Zwischen den Dichtflächen ist der Metalldichtungsring (18) angeordnet, wobei Andruckmittel (20) vorgesehen sind zum Zusammenpressen der Dichtflächen.