DEPOSITION OF ULTRA-THIN FUNCTIONAL COATINGS ON FLEXIBLE MATERIALS

An apparatus and method for depositing functional coatings with different formulations on flexible materials is disclosed. Spatial atomic layer deposition produces dense coatings with few or no pinholes that are conformal to the underlying flexible substrate, which enhances the functional properties...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TEOH, CHEE HAU, LOKE, JHI YONG, MUSSELMAN, KEVIN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An apparatus and method for depositing functional coatings with different formulations on flexible materials is disclosed. Spatial atomic layer deposition produces dense coatings with few or no pinholes that are conformal to the underlying flexible substrate, which enhances the functional properties of the coatings. The apparatus and method can produce coatings that are single?layer or multi?layer and that have one or more functions. The apparatus and method operate in atmospheric conditions and can be used in a stand?alone or in?line manufacturing process. Spatial atomic layer deposition of metal?oxide barrier coatings on packaging materials is disclosed. The metal?oxide barrier coatings provide superior barrier properties to protect the products in the packaging, may perform additional functions, and may be sufficiently thin that they do not compromise the recyclability and/or compostability and/or biodegradability of sustainable packaging materials. L'invention concerne un appareil et un procédé pour le dépôt de revêtements fonctionnels ayant différentes formulations sur des matériaux souples. Un dépôt de couche atomique spatiale produit des revêtements denses ayant peu ou pas de trous d'épingle qui sont conformes au substrat souple sous-jacent, ce qui améliore les propriétés fonctionnelles des revêtements. L'appareil et le procédé peuvent produire des revêtements qui sont monocouche ou multicouche et qui possèdent une ou plusieurs fonctions. L'appareil et le procédé fonctionnent dans des conditions atmosphériques et peuvent être utilisés dans un processus de fabrication autonome ou en ligne. L'invention concerne également un dépôt de couche atomique spatiale de revêtements barrières à oxyde métallique sur des matériaux d'emballage. Les revêtements barrières à oxyde métallique fournissent des propriétés barrières supérieures pour protéger les produits dans l'emballage, peuvent réaliser des fonctions supplémentaires, et peuvent être suffisamment minces pour qu'ils ne compromettent pas l'aptitude au recyclage et/ou au compostage et/ou à la biodégradation de matériaux d'emballage durables.