MICROBOLOMETER DETECTORS WITH OPTICAL ABSORBER STRUCTURES FOR DETECTION OF TERAHERTZ RADIATION

A microbolometer pixel unit for detection of terahertz radiation includes a substrate, a thermistor structure, and an optical absorber structure. The thermistor structure includes a plurality of microbolometer pixels disposed on the substrate. Each pixel includes a thermistor platform suspended above the substrate, a thermistor support member holding the thermistor platform, and a thermistor disposed on the thermistor platform and having an electrical resistance that varies in accordance with a temperature of the thermistor. The optical absorber structure includes an absorber platform suspended above the thermistor structure, an absorber support member holding the absorber platform and including a plurality of support elements, each support element providing a thermal conduction path from the absorber platform to the thermistor platform of a respective one of the microbolometer pixels, and an optical absorber disposed on the absorber platform to absorb incoming terahertz radiation to generate heat to change the temperature of the thermistors. L'invention concerne une unité de pixel microbolométrique pour la détection d'un rayonnement térahertz qui comprend un substrat, une structure de thermistance et une structure d'absorbeur optique. La structure de thermistance comprend une pluralité de pixels microbolométriques disposés sur le substrat. Chaque pixel comprend une plateforme de thermistance suspendue au-dessus du substrat, un élément de support de thermistance soutenant la plateforme de thermistance, et une thermistance disposée sur la plateforme de thermistance et dont la résistance électrique varie en fonction de la température de la thermistance. La structure d'absorbeur optique comprend une plateforme d'absorbeur suspendue au-dessus de la structure de thermistance, un élément de support d'absorbeur soutenant la plateforme d'absorbeur et comprenant une pluralité d'éléments de support, chaque élément de support fournissant un trajet de conduction thermique de la plateforme d'absorbeur à la plateforme de thermistance d'un pixel microbolométrique respectif, et un absorbant optique disposé sur la plateforme d'absorbeur pour absorber le rayonnement térahertz entrant afin de générer de la chaleur pour changer la température des thermistances.