METHOD AND APPARATUS FOR REAL TIME OPTIMIZATION OF A MICROWAVE PLASMA

A method of real time optimization of a microwave plasma includes adjusting in real time an injection angle of a swirl gas flow of the microwave plasma, the magnitude of the swirl gas flow of the microwave plasma, or the microwave power applied to the microwave plasma. An optimization scheme can be created for a particular process requirement or to address time-varying drift in a system. For example, as the output temperature of the torch drifts as the system reaches steady-state operation, the tuning algorithm can adjust the inputs in order to regain the desired output temperature. Un procédé d'optimisation en temps réel d'un plasma micro-onde comprend l'ajustement en temps réel d'un angle d'injection d'un écoulement de gaz tourbillonnant du plasma micro-onde, de l'amplitude du flux de gaz tourbillonnant du plasma micro-onde ou de la puissance micro-onde appliquée au plasma micro-onde. Un schéma d'optimisation peut être créé pour un besoin de traitement spécifique ou pour faire face à un glissement à variation temporelle dans un système. Par exemple, à mesure que la température de sortie de la torche dévie, alors que le système atteint un fonctionnement à état stable, l'algorithme de réglage peut ajuster les entrées en vue d'atteindre à nouveau la température de sortie souhaitée.