SHAPE MEASURING SYSTEM AND SHAPE MEASURING METHOD

A shape of an object is measured with a high degree of accuracy. A shape measurement system comprises: a distance measuring head for irradiating an object with light and receiving light reflected from the object; a distance measuring device for generating a distance detection waveform on the basis of the reflected light; and a control device for analyzing the distance detection waveform and calculating a measured distance value to the object. The shape measurement system is characterized in that the control device calculates a feature amount of the distance detection waveform and performs at least one of a process of correcting an error in the measured distance value by substituting the feature amount into a correction formula and a process of performing a confidence weighting of an error in the measured distance value by substituting the feature amount into a confidence weighting formula. La forme d'un objet est mesurée avec un haut degré de précision. La présente invention concerne un système de mesure de forme comprenant : une tête de mesure de distance pour irradier un objet avec de la lumière et recevoir une lumière réfléchie par l'objet ; un dispositif de mesure de distance pour générer une forme d'onde de détection de distance sur la base de la lumière réfléchie ; et un dispositif de commande pour analyser la forme d'onde de détection de distance et calculer une valeur de distance mesurée sur l'objet. Le système de mesure de forme est caractérisé en ce que le dispositif de commande calcule une quantité de caractéristique de la forme d'onde de détection de distance et effectue au moins l'un d'un processus de correction d'une erreur dans la valeur de distance mesurée en substituant la quantité de caractéristiques par une formule de correction, et d'un processus de réalisation d'une pondération de confiance d'une erreur dans la valeur de distance mesurée en substituant de la quantité de caractéristiques en une formule de pondération de confiance.