AQUEOUS ALKALINE PRE-TREATMENT SOLUTION FOR USE PRIOR TO DEPOSITION OF A PALLADIUM ACTIVATION LAYER, METHOD AND USE THEREOF
The invention relates to an aqueous alkaline pre-treatment solution for use prior to deposition of a palladium activation layer on a substrate in manufacturing an article with an integrated circuit and a method and use thereof, wherein the solution comprises: - at least one hydroxycarboxylic acid or...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The invention relates to an aqueous alkaline pre-treatment solution for use prior to deposition of a palladium activation layer on a substrate in manufacturing an article with an integrated circuit and a method and use thereof, wherein the solution comprises: - at least one hydroxycarboxylic acid or salt thereof according to the general formula (I) [RCH2-(RCH)n-COO-]m Mm+ (I) wherein n is integer from 2 to 4 and m is 1 or 2, R is independently H or OH with proviso that at least one R is OH, and wherein Mm+ with m: 1 is hydrogen, ammonium or alkali metal; or Mm+ with m: 2 is earth alkali metal, - at least one polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, - at least one sulphonated fatty acid or a salt thereof.
L'invention concerne une solution aqueuse alcaline de prétraitement destinée à être utilisée avant le dépôt d'une couche d'activation au palladium sur un substrat dans la fabrication d'un article avec un circuit intégré, ainsi qu'un procédé et une utilisation de celle-ci, la solution comprenant : - au moins un acide hydroxycarboxylique ou un sel de celui-ci selon la formule générale (I) [RCH2-(RCH)n-COO-]m Mm+ (I), n étant un nombre entier de 2 à 4 et m valant 1 ou 2, R étant indépendamment H ou OH à condition qu'au moins un R soit OH, et Mm+ avec m : 1 représentant hydrogène, ammonium ou métal alcalin ; ou Mm+ avec m : 2 étant un métal alcalino-terreux, - au moins un ester d'acide gras de polyoxyéthylène sorbitane, - au moins un acide gras sulfoné ou un sel de celui-ci. |
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