METHODS FOR CONFIRMING CHARGED-PARTICLE GENERATION IN AN INSTRUMENT, AND RELATED INSTRUMENTS

Methods for confirming charged-particle generation in an instrument are provided. A method to confirm charged-particle generation in an instrument includes providing electrical connections to a charged-particle optics system of the instrument while the charged-particle optics system is in a chamber. The method includes coupling an electrical component having an impedance to charged-particle current generated in the chamber. Moreover, the method includes measuring an electrical response by the electrical component to the charged-particle current. Related instruments are also provided. L'invention concerne des procédés de confirmation de la génération de particules chargées dans un instrument. Un procédé de confirmation de la génération de particules chargées dans un instrument consiste à fournir des connexions électriques à un système optique à particules chargées de l'instrument tandis que le système optique à particules chargées se trouve dans une chambre. Le procédé consiste à coupler un composant électrique ayant une impédance à un courant de particules chargées généré dans la chambre. De plus, le procédé consiste à mesurer une réponse électrique par le composant électrique au courant de particules chargées. L'invention concerne également des instruments associés.