ARC SOURCE WITH CONFINED MAGNETIC FIELD

An ARC evaporator comprising: - a cathode assembly comprising a cooling plate (11), a target (1) as cathode element, - an electrode arranged for enabling that an arc between the electrode and the front surface (1A) of the target (1) can be established - a magnetic guidance system placed in front of the back surface (1 B) of the target (i) comprising means for generating one or more magnetic whereas: - the borders of the cathode assembly comprise a surrounding shield (15) made of ferromagnetic material, wherein the surrounding shield (15) has a total height (H) in the transversal direction, said total height (H) including a component (C) for causing a shielding effect of magnetic field lines extending in any longitudinal directions, establishing in this manner the borders of the cathode assembly as limit of the extension of the magnetic field lines in any longitudinal direction. La présente invention concerne un évaporateur à arc comprenant : - un ensemble cathode comprenant une plaque de refroidissement (11), une cible (1) en tant qu'élément cathode, - une électrode agencée pour permettre qu'un arc entre l'électrode et la surface avant (1A) de la cible (1) puisse être établi - un système de guidage magnétique placé devant la surface arrière (1B) de la cible (i) comprenant des moyens de génération d'un ou de plusieurs champs magnétiques. Selon l'invention : - les bordures de l'ensemble cathode comprennent un écran périphérique (15) en matériau ferromagnétique, l'écran périphérique (15) présentant une hauteur totale (H) dans la direction transversale, ladite hauteur totale (H) comprenant un composant (C) pour provoquer un effet de blindage de lignes de champ magnétique s'étendant dans n'importe quelle direction longitudinale, établissant ainsi de cette manière les bordures de l'ensemble cathode en tant que limite de l'extension des lignes de champ magnétique dans n'importe quelle direction longitudinale.