SEMICONDUCTOR WIRE BONDING MACHINE CLEANING DEVICE AND METHOD

A methodology and medium for regular and predictable cleaning the support hardware such as capillary tube in semiconductor assembly equipment components, while it is still in manual, semi-automated, and automated assembly are disclosed. The cleaning material may include a cleaning pad layer and one...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HUMPHREY, BRET, SMITH, WAYNE, SHIVLAL, JANAKRAJ, HUMPHREY, ALAN E
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A methodology and medium for regular and predictable cleaning the support hardware such as capillary tube in semiconductor assembly equipment components, while it is still in manual, semi-automated, and automated assembly are disclosed. The cleaning material may include a cleaning pad layer and one or more intermediate layers that have predetermined characteristics. L'invention concerne une méthodologie et un milieu pour le nettoyage régulier et prévisible du matériel de support tel qu'un tube capillaire dans des éléments d'équipement d'ensemble semi-conducteur, tandis qu'il est toujours dans un assemblage manuel, semi-automatisé et automatisé. Le matériau de nettoyage peut comprendre une couche tampon de nettoyage et une ou plusieurs couches intermédiaires qui présentent des caractéristiques prédéfinies.