PROCESS FOR PREPARING POLYCRYSTALLINE SILICON

The invention relates to a method for producing polycrystalline silicon granulate in a fluidized bed reactor. The method comprises a fluidization of silicon seed particles by means of a fluidizing gas in a fluidized bed, which is heated by a heating device, wherein elemental silicon is deposited by...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WECKESSER, DIRK, HERTLEIN, HARALD
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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