PROCESS FOR PREPARING POLYCRYSTALLINE SILICON
The invention relates to a method for producing polycrystalline silicon granulate in a fluidized bed reactor. The method comprises a fluidization of silicon seed particles by means of a fluidizing gas in a fluidized bed, which is heated by a heating device, wherein elemental silicon is deposited by...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The invention relates to a method for producing polycrystalline silicon granulate in a fluidized bed reactor. The method comprises a fluidization of silicon seed particles by means of a fluidizing gas in a fluidized bed, which is heated by a heating device, wherein elemental silicon is deposited by pyrolysis on the silicon seed particles by the addition of a reaction gas containing hydrogen and silane and/or halosilane to form the polycrystalline silicon granulate. In a continuous process, waste gas is discharged from the fluidized bed reactor and hydrogen recovered from said waste gas is again supplied to the fluidized bed reactor as a circulating gas. The circulating gas has a nitrogen content of less than 1000 ppmv. The invention further relates to polycrystalline silicon granulate having a nitrogen content of less than 2 ppba.
L'invention concerne un procédé de production de granulés de silicium polycristallin dans un réacteur à lit fluidisé. Ce procédé comprend une fluidisation de particules de germes de silicium au moyen d'un gaz de fluidisation dans un lit fluidisé qui est chauffé au moyen d'un dispositif de chauffage, du silicium élémentaire étant déposé par pyrolyse sur les particules de germes de silicium par addition d'un gaz de réaction contenant de l'hydrogène et du silane et/ou de l'halosilane, de manière à former les granulés de silicium polycristallin. Dans un processus continu, les gaz brûlés sont évacués du réacteur et l'hydrogène récupéré à partir de ces gaz brûlés est recyclé en tant que gaz de recyclage dans le réacteur à lit fluidisé. Le gaz de recyclage présente une teneur en azote inférieure à 1000 ppmv. En outre, l'invention concerne des granulés de silicium polycristallin présentant une teneur en azote inférieure à 2 ppba. |
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