A SENSOR DEVICE AND A METHOD OF DETECTING A COMPONENT IN GAS

The invention relates to a sensor device (1) comprising a planar substrate (3) defining a substrate plane (4) and a waveguide (2) for guiding an electromagnetic wave. The waveguide (2) extends in a length direction in a waveguide plane (4') parallel to the substrate plane (4) and has a width (W, w) and a height (h) wherein the width (W, w) to height (h) ratio is more than 5. The height (h) of the waveguide (2) is less than the wavelength of the electromagnetic wave. The waveguide (2) is supported on the substrate (3) by a support structure (5) extending from the substrate (3) to the waveguide (2), along the length direction of the waveguide (2), having a width (Ws) which is smaller than the width (W, w) of the waveguide (2). The invention further relates to a method of detecting a component in gas and a method of fabricating a sensor device (1). L'invention concerne un capteur (1) comprenant un substrat planaire (3) définissant un plan de substrat (4) et un guide d'ondes (2) pour guider une onde électromagnétique. Le guide d'ondes (2) s'étend dans une direction de longueur dans un plan de guide d'ondes (4') parallèle au plan de substrat (4) et comprend une largeur (W, w) et une hauteur (h) dans un rapport largeur-hauteur de plus de 5. La hauteur (h) du guide d'ondes (2) est moindre que la longueur d'onde de l'onde électromagnétique. Le guide d'ondes (2) est soutenu sur le substrat (3) par une structure de support (5) s'étendant du substrat (3) au guide d'ondes (2) le long du sens de la longueur du guide d'ondes (2), ayant une largeur (Ws) plus petite que la largeur (W, w) du guide d'ondes (2). L'invention concerne également une méthode de détection d'un composant dans le gaz et une méthode de fabrication d'un capteur (1). (Fig. 1)