METHOD AND APPARATUS FOR A THIN FILM DIELECTRIC STACK

A system that incorporates teachings of the subject disclosure may include, for example, a thin film capacitor having a substrate, a first electrode layer on the substrate, a first dielectric layer on the first electrode layer where the first dielectric layer has a columnar-oriented grain structure,...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CERVIN, ANDREW VLADIMIR CLAUDE, HORNE, EDWARD, ZELNER, MARINA
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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