OPTIMIZED EPOXY DIE ATTACH GEOMETRY FOR MEMS DIE

A differential pressure sensor is a body with first and second interior channels connected to process fluid inlets and separated by a barrier. Each side of a MEMS pressure sensing diaphragm in the barrier is fluidly connected to a process fluid inlet. The diaphragm is mounted on a hollow pedestal such that one side of the diaphragm is fluidly connected to a process fluid inlet through an interior channel in the pedestal that is adhesively attached to an annular bottom of a cylindrical cavity inside the body. The other side of the diaphragm is fluidly connected to the_other process fluid inlet and is fluidly isolated from the first fluid inlet by the adhesive at the bottom of the pedestal. Deformation of the diaphragm due to a pressure difference between the process fluid inlets detected by sensors on the diaphragm indicates a differential pressure. Un capteur de pression différentielle est un corps comprenant un premier et un deuxième canal intérieur raccordés à des entrées de fluide de traitement et séparés par une barrière. Chaque côté dun diaphragme de détection de pression à systèmes micro-électromécaniques (MEMS) dans la barrière est en raccord fluide à une entrée de fluide de traitement. Le diaphragme est monté sur un socle creux, de sorte quun côté du diaphragme soit en raccord fluide à une entrée de fluide de traitement, au moyen dun canal intérieur du socle, qui est collé à un fond annulaire dune cavité cylindrique dans le corps. Lautre côté du diaphragme est en raccord fluide avec lautre entrée de fluide de traitement et en isolation fluide de la première entrée, au moyen de ladhésif au fond du socle. La déformation du diaphragme en raison dune différence de pression entre les entrées de fluide détectée par les capteurs sur le diaphragme indique une pression différentielle.