PROCESS FOR PRODUCING FLEXIBLE ORGANIC-INORGANIC LAMINATES

The present invention is in the field of processes for producing flexible organic-inorganic laminates as well as barrier films comprising flexible organic-inorganic laminates by atomic layer deposition. In particular the present invention relates to a process for producing a laminate comprising more...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SUNG, MYUNG MO, KLOTZ, STEPHAN, LOFFLER, DANIEL, AHLF, MARAIKE, EICKEMEYER, FELIX, FRANK, JURGEN, YOON, KWAN HYUCK
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention is in the field of processes for producing flexible organic-inorganic laminates as well as barrier films comprising flexible organic-inorganic laminates by atomic layer deposition. In particular the present invention relates to a process for producing a laminate comprising more than once the sequence comprising: (a) depositing an inorganic layer by performing 4 to 150 cycles of an atomic layer deposition process, and (b) depositing an organic layer comprising sulfur by a molecular layer deposition process. La présente invention concerne le domaine des procédés de production de stratifiés organiques-inorganiques flexibles ainsi que des films de barrière comprenant des stratifiés organiques-inorganiques flexibles par dépôt de couche atomique. En particulier, la présente invention concerne un procédé de production d'un stratifié comprenant plus d'une fois la séquence comprenant : (a) le dépôt d'une couche inorganique en effectuant 4 à 150 cycles d'un procédé de dépôt de couche atomique, et (b) le dépôt d'une couche organique comprenant du soufre par un procédé de dépôt de couche moléculaire.