PROCESS FOR PRODUCING FLEXIBLE ORGANIC-INORGANIC LAMINATES
The present invention is in the field of processes for producing flexible organic-inorganic laminates as well as barrier films comprising flexible organic-inorganic laminates by atomic layer deposition. In particular the present invention relates to a process for producing a laminate comprising more...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The present invention is in the field of processes for producing flexible organic-inorganic laminates as well as barrier films comprising flexible organic-inorganic laminates by atomic layer deposition. In particular the present invention relates to a process for producing a laminate comprising more than once the sequence comprising: (a) depositing an inorganic layer by performing 4 to 150 cycles of an atomic layer deposition process, and (b) depositing an organic layer comprising sulfur by a molecular layer deposition process.
La présente invention concerne le domaine des procédés de production de stratifiés organiques-inorganiques flexibles ainsi que des films de barrière comprenant des stratifiés organiques-inorganiques flexibles par dépôt de couche atomique. En particulier, la présente invention concerne un procédé de production d'un stratifié comprenant plus d'une fois la séquence comprenant : (a) le dépôt d'une couche inorganique en effectuant 4 à 150 cycles d'un procédé de dépôt de couche atomique, et (b) le dépôt d'une couche organique comprenant du soufre par un procédé de dépôt de couche moléculaire. |
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