TERAHERTZ-WAVE DETECTOR

A terahertz-wave detector having a thermal separation structure in which a temperature detection unit 14 including a bolometer thin film 7 connected to electrode wiring 9 is supported so as to be lifted above a substrate 2 by a support part 13 including the electrode wiring 9 connected to a reading circuit 2a formed on the substrate 2, wherein the terahertz-wave detector is provided with a reflective film 3 that is formed on the substrate 2 and reflects terahertz waves and an absorption film 11 that is formed on the temperature detection unit 14 and absorbs terahertz waves and the reflective film 3 is integrally formed with the reflective film of an adjacent terahertz-wave detector. L'invention concerne un détecteur d'ondes térahertziennes comprenant une structure de séparation thermique dans laquelle une unité de détection de température (14) incluant un film mince de bolomètre (7) raccordé au câblage d'électrode (9) est supportée de manière à être soulevée au-dessus d'un substrat (2) par une pièce support (13), et comprenant un câblage d'électrode (9) connecté à circuit de lecture (2a) formé sur le substrat (2). Le détecteur d'ondes térahertziennes est muni d'un film réfléchissant (3) qui est formé sur le substrat (2) et réfléchit les ondes térahertziennes et un film d'absorption (11) qui est formé sur l'unité de détection de température (14) et absorbe les ondes térahertziennes, et le film réfléchissant (3) est intégralement constitué d'un film réfléchissant d'un détecteur d'ondes térahertziennes adjacent.