AN APPARATUS AND METHOD FOR SUB-MICROMETER ELEMENTAL IMAGE ANALYSIS BY MASS SPECTROMETRY

A mass spectrometer system for elemental analysis of a planar sample is provided. In some embodiments, the mass spectrometer system comprises: a primary ion source capable of irradiating a segment on planar sample with a beam of primary ions that is less than 1 mm in diameter, c) an orthogonal ion mass-to-charge ratio analyzer positioned downstream of sample interface, the analyzer being configured to separate secondary elemental atomic ions according to their mass-to-charge ratio by time of flight; d) an ion detector for detecting the secondary elemental atomic ions and producing mass spectra measurements; and e) a synchronizer, wherein the system is configured so that so that the beam of primary ions scans across the planar sample in two dimensions and the synchronizer associates the mass spectra measurements with positions on the planar sample. L'invention concerne un système de spectromètre de masse destiné à l'analyse élémentaire d'un échantillon plan. Dans certains modes de réalisation, système de spectromètre de masse comporte: une source d'ions primaires capable d'irradier un segment sur l'échantillon plan à l'aide d'un faisceau d'ions primaires d'un diamètre inférieur à 1 mm, c) un analyseur orthogonal de rapport masse-charge des ions positionné en aval de l'interface d'échantillon, l'analyseur étant configuré pour séparer des ions atomiques élémentaires secondaires en fonction de leur rapport masse-charge par temps de vol; d) un détecteur d'ions servant à détecter les ions atomiques élémentaires secondaires et à produire des mesures de spectres de masse; et e) un synchroniseur, le système étant configuré de telle façon que le faisceau d'ions primaires balaie l'étendue de l'échantillon plan dans deux dimensions et que le synchroniseur associe les mesures de spectres de masse à des positions sur l'échantillon plan.