INDUCTION DEVICES AND METHODS OF USING THEM

Certain embodiments described herein are directed to induction devices that can be used to sustain a plasma. In certain configurations, the induction device may comprise one or more radial fins electrically coupled to a base. The induction device may take numerous forms including, for example, coils...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CHEUNG, TAK SHUN, WONG, CHUI HA CINDY
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Certain embodiments described herein are directed to induction devices that can be used to sustain a plasma. In certain configurations, the induction device may comprise one or more radial fins electrically coupled to a base. The induction device may take numerous forms including, for example, coils and plate electrodes. Certains modes de réalisation de la présente invention se rapportent à des dispositifs à induction pouvant être employés pour maintenir un plasma. Dans certaines configurations, le dispositif à induction peut comprendre une ou plusieurs ailettes radiales couplées électriquement à une base. Le dispositif à induction peut prendre diverses formes telles que, par exemple, des bobines et des électrodes en plaques.