INDUCTION DEVICES AND METHODS OF USING THEM
Certain embodiments described herein are directed to induction devices that can be used to sustain a plasma. In certain configurations, the induction device may comprise one or more radial fins electrically coupled to a base. The induction device may take numerous forms including, for example, coils...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Certain embodiments described herein are directed to induction devices that can be used to sustain a plasma. In certain configurations, the induction device may comprise one or more radial fins electrically coupled to a base. The induction device may take numerous forms including, for example, coils and plate electrodes.
Certains modes de réalisation de la présente invention se rapportent à des dispositifs à induction pouvant être employés pour maintenir un plasma. Dans certaines configurations, le dispositif à induction peut comprendre une ou plusieurs ailettes radiales couplées électriquement à une base. Le dispositif à induction peut prendre diverses formes telles que, par exemple, des bobines et des électrodes en plaques. |
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