METHOD FOR MEASURING THE DISTANCE BETWEEN A WORKPIECE AND A MACHINING HEAD OF A LASER MACHINING APPARATUS

According to a method for measuring the distance between a workpiece and a machining head of a laser machining apparatus, a machining head is provided, which has a housing that has an interior and an opening for emergence of the laser radiation from the machining head. The laser radiation is directed on to the workpiece, after it has passed through the interior and the opening. An object beam is directed on to the workpiece by a light source of an optical coherence tomograph in such a manner that the object beam passes through the interior and the opening before being incident upon the workpiece. In addition to the object beam, a measuring beam passes through the interior. The measuring beam is used to compensate falsifications of the measured distance that have been caused by pressure fluctuations in the interior. The measuring beam in this case may be reflected at a reflective face that is formed on an inner face of an outlet nozzle that comprises the opening, which inner face delimits the interior. Selon une méthode de mesure de la distance entre une pièce à usiner et une tête dusinage dun appareil dusinage laser, une tête dusinage est décrite, qui comprend un logement ayant un intérieur et une ouverture pour lémergence du rayonnement laser de la tête dusinage. Le rayonnement laser est orienté sur la pièce à usiner après avoir passé dans lintérieur et louverture. Un faisceau objet est orienté sur la pièce à usiner au moyen dune source de lumière dun tomographe par cohérence optique, de sorte que le faisceau objet passe à lintérieur et dans louverture avant de devenir incident sur la pièce à usiner. En plus du faisceau objet, un faisceau de mesure passe par lintérieur. Le faisceau de mesure est utilisé pour compenser les falsifications de la distance mesurée causées par les fluctuations de pression à lintérieur. Le faisceau de mesure, dans ce cas, peut être réfléchi sur une face réfléchissante formée sur une face intérieure dune buse de sortie comprenant louverture, la face intérieure délimitant lintérieur.