METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING AND CONTROLLING ELECTROLYTICALLY-ACTIVE SPECIES CONCENTRATION IN AQUEOUS SOLUTIONS

A method is provided for measuring an electrolytically-active species concentration in an aqueous or non-aqueous solution for use in providing control of the concentration of the species in a source solution thereof based on the measurements. In the method, a sample containing an electrolytically-active species is added into a measurement cell that has a working electrode and an auxiliary electrode, and a constant current is applied to the measurement cell while the working and auxiliary electrodes are in contact with the sample with monitoring of voltage difference across the electrodes until a change in the voltage difference is detected. A feedback signal is generated based on a parameter of the change in the voltage difference that is directly proportional to the amount of the electrolytically-active species in the sample, which can be used for process control. An apparatus is also described. La présente invention porte sur un procédé de mesure de concentration d'espèce électrolytiquement active dans une solution aqueuse ou non aqueuse pour utilisation dans la fourniture d'un contrôle de la concentration de l'espèce dans une solution de source de celle-ci sur la base des mesures. Selon le procédé, un échantillon contenant une espèce électrolytiquement active est ajouté dans une cellule de mesure qui a une électrode de travail et une électrode auxiliaire, et un courant constant est appliqué à la cellule de mesure alors que les électrodes de travail et auxiliaire sont en contact avec l'échantillon, avec une surveillance de différence de tension de part et d'autre des électrodes jusqu'à ce qu'un changement dans la différence de tension ne soit détecté. Un signal de rétroaction est généré sur la base d'un paramètre du changement dans la différence de tension qui est directement proportionnelle à la quantité de l'espèce électrolytiquement active dans l'échantillon, lequel signal de rétroaction peut être utilisé pour un contrôle de processus. La présente invention porte également sur un appareil.