NOISE SHIELDING TECHNIQUES FOR ULTRA LOW CURRENT MEASUREMENTS IN BIOCHEMICAL APPLICATIONS

A device having an integrated noise shield is disclosed. The device includes a plurality of vertical shielding structures substantially surrounding a semiconductor device. The device further includes an opening above the semiconductor device substantially filled with a conductive fluid, wherein the plurality of vertical shielding structures and the conductive fluid shield the semiconductor device from ambient radiation. In some embodiments, the device further includes a conductive bottom shield below the semiconductor device shielding the semiconductor device from ambient radiation. In some embodiments, the opening is configured to allow a biological sample to be introduced into the semiconductor device. In some embodiments, the vertical shielding structures comprise a plurality of vias, wherein each of the plurality of vias connects more than one conductive layers together. In some embodiments, the device comprises a nanopore device, and wherein the nanopore device comprises a single cell of a nanopore array. La présente invention concerne un dispositif possédant une protection intégrée contre le bruit. Selon l'invention, le dispositif comprend plusieurs structures de protection verticales entourant sensiblement un dispositif à semi-conducteur. Le dispositif comprend en outre une ouverture située au-dessus du dispositif à semi-conducteur sensiblement remplie d'un fluide conducteur, les plusieurs structures de protection verticales et le fluide conducteur protégeant le dispositif à semi-conducteur contre un rayonnement ambiant. Dans certains modes de réalisation, le dispositif comprend en outre une protection inférieure conductrice située sous le dispositif à semi-conducteur qui protège le dispositif à semi-conducteur contre un rayonnement ambiant. Dans certains modes de réalisation, l'ouverture est conçue pour permettre l'introduction d'un échantillon biologique dans le dispositif à semi-conducteur. Dans certains modes de réalisation, les structures de protection verticales comprennent plusieurs traversées, chacune des plusieurs traversées connectant au moins deux couches conductrices l'une à l'autre. Dans certains modes de réalisation, le dispositif comprend un dispositif à nanopores, le dispositif à nanopores comprenant une unique cellule d'une matrice de nanopores.