APPARATUS AND METHOD FOR THE CONDENSED PHASE PRODUCTION OF TRISILYLAMINE
The present invention is directed to a condensed phase batch process for synthesis of trisilylamine (TSA). An improved synthesis method that incorporates a solvent to help promote a condensed-phase reaction between ammonia gas (or liquid) and liquified monochlorosilane (MCS) in good yields is descri...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The present invention is directed to a condensed phase batch process for synthesis of trisilylamine (TSA). An improved synthesis method that incorporates a solvent to help promote a condensed-phase reaction between ammonia gas (or liquid) and liquified monochlorosilane (MCS) in good yields is described. This method facilitates the removal of the byproduct waste with little to no reactor down time, substantial reduction of down-stream solids contamination and high-purity product from first-pass distillation.
La présente invention concerne un procédé discontinu, en phase condensée, pour une synthèse de trisilylamine (TSA). Un procédé de synthèse amélioré, qui comprend un solvant pour aider à favoriser une réaction en phase condensée entre de l'ammoniac gazeux (ou liquide) et du monochlorosilane (MCS) liquéfié, avec de bons rendements, est décrit. Ce procédé facilite l'élimination de sous-produits résiduaires, un temps d'arrêt de réacteur étant faible à nul, une réduction sensible de la contamination par des matières solides en aval et un produit de pureté élevée provenant d'une distillation de première passe. |
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