ACCELEROMETER

An accelerometer can include a support structure having situated thereupon a stator electrode array including multiple stator electrodes (e.g., A, B, and C); and a proof mass positioned parallel to the stator electrode array and capable of displacement parallel thereto. A translator electrode array...

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Hauptverfasser: HOMEIJER, BRIAN D, BICKNELL, ROBERT NEWTON
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An accelerometer can include a support structure having situated thereupon a stator electrode array including multiple stator electrodes (e.g., A, B, and C); and a proof mass positioned parallel to the stator electrode array and capable of displacement parallel thereto. A translator electrode array facing the stator electrode array can comprise multiple translator electrodes (e.g., a and b) can be situated on the proof mass. Further included is a drive circuitry to apply drive voltages to six capacitances formed by the stator and translator electrodes. The total force F exerted on the proof mass by the drive voltages is held constant at about zero. L'invention concerne un accéléromètre (100) qui peut comporter une structure de support (104) portant un réseau d'électrodes stator (106) comportant plusieurs électrodes stator (110) (par exemple A, B, et C); et une masse étalon (102) placée parallèle au réseau d'électrodes stator et apte à être déplacée parallèle à celui-ci. Un réseau d'électrodes de translation (108) regardant le réseau d'électrodes stator peut comprendre plusieurs électrodes de translation (112) (par exemple, a et b) qui peuvent se situer sur la masse étalon. En outre, l'accéléromètre peut comporter des circuits d'entraînement (114) destinés à appliquer des tensions d'entraînement aux six capacités formées par le stator et les électrodes de translation. La force total exercée sur la masse étalon par les tensions d'entraînement est maintenue constante à environ zéro.