APPARATUS FOR CURING THIN FILMS ON A MOVING SUBSTRATE

An apparatus for curing thin films is disclosed. The apparatus includes a computer control system, a conveyance system, a flashlamp controller, and a flashlamp. The curing apparatus also includes a high average power, low-inductance cable connected between the flashlamp controller and the flashlamp....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JACKSON, DOUGLAS K, SCHRODER, KURT A, MCCOOL, STEVEN C
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An apparatus for curing thin films is disclosed. The apparatus includes a computer control system, a conveyance system, a flashlamp controller, and a flashlamp. The curing apparatus also includes a high average power, low-inductance cable connected between the flashlamp controller and the flashlamp. The low-inductance cable is smaller in diameter and is more flexible than the prior art and includes at least one liquid cooling line and multiple forward and return path wires interleaved in a regular hexagonal closed packed configuration such that every wire is adjacent to at least one cooling line and at least one wire of opposite polarity. L'invention concerne un appareil de durcissement de couches minces. L'appareil comprend un système de commande informatisé, un système de transport, un dispositif de commande de lampe-éclair et une lampe-éclair. L'appareil de durcissement comprend également une alimentation moyenne élevée, un câble à faible inductance connecté entre le dispositif de commande de lampe-éclair et la lampe-éclair. Le câble à faible inductance est de diamètre inférieur, est plus flexible que dans l'état antérieur de la technique et il comprend au moins une conduite de liquide de refroidissement et de multiples conducteurs aller et retour qui sont entrelacés pour former une configuration hexagonale régulière, fermée et compacte, si bien que chaque conducteur est adjacent à une conduite de refroidissement et à au moins un conducteur de polarité opposée.