METHODS FOR MANUFACTURING THREE-DIMENSIONAL DEVICES AND DEVICES CREATED THEREBY

In certain exemplary embodiments of the present invention, three-dimensional micro-mechanical devices and/or micro-structures can be made using a production casting process. As part of this process, an intermediate mold can be made from or derived from a precision stack lamination and used to fabricate the devices and/or structures. Further, the micro-devices and/or micro-structures can be fabricated on planar or nonplanar surfaces through use of a series of production casting processes and intermediate molds. The use of precision stack lamination can allow the fabrication of high aspect ratio structures. Moreover, via certain molding and/or casting materials, molds having cavities with protruding undercuts also can be fabricated. Dans certains modes de réalisation donnés à titre d'exemple de la présente invention, des dispositifs micromécaniques tridimensionnels et/ou des microstructures tridimensionnelles peuvent être créés à l'aide d'un processus de coulage. Dans le cadre de ce processus, un moule intermédiaire peut être créé à partir d'un empilement précis de lamelles et utilisé pour fabriquer les dispositifs et/ou les structures. De plus, les microdispositifs et/ou les microstructures peuvent être fabriqués sur des surfaces planes ou non au moyen d'une série de processus de coulage et de moules intermédiaires. L'utilisation d'empilements précis de lamelles permet la fabrication de structures avec un rapport d'aspect élevé. En outre, au moyen de certains matériaux de moulage et/ou de coulage, des moules dotés de cavités avec entailles en saillie peuvent aussi être fabriqués.