METHOD AND APPARATUS FOR CALCULATING A LASER SHOT FILE FOR USE IN AN EXCIMER LASER

The invention relates to a method and apparatus for calculating a laser shot file for use in an excimer laser comprising the steps of providing information with respect to a desired ablation profile, calculating the shot density of the desired ablation profile, using a cost function for placing lase...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: HEGELS, ERNST
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The invention relates to a method and apparatus for calculating a laser shot file for use in an excimer laser comprising the steps of providing information with respect to a desired ablation profile, calculating the shot density of the desired ablation profile, using a cost function for placing laser shots of the excimer laser on grid positions wherein a threshold value is determined based on the calculated shot density of the desired ablation profile. L'invention porte sur un procédé et un appareil pour calculer un fichier de décharge laser pour une utilisation dans un laser à excimère comprenant les étapes consistant à fournir des informations concernant un profil d'ablation désiré, calculer la densité de décharge du profil d'ablation désiré, et utiliser une fonction de coût pour placer les décharges laser du laser à excimère sur des positions de grille, une valeur de seuil étant déterminée sur la base de la densité de décharge calculée du profil d'ablation désiré.