RESETTABLE LATCHING MEMS SHOCK SENSOR APPARATUS AND METHOD

The Resettable Latching MEMS Shock Sensor provides the capability of recording external shock extremes without consuming electrical power. The device incorporates a shock sensitive suspended proof mass, spring-loaded contacts, latches, and actuators for device reset. The device can be designed, hardwired, or programmed to trigger at various shock levels. The device can be fabricated in a simple micromachining process that allows its size to be miniaturized for embedded and portable applications. During operation, the device consumes no quiescent power. The device can be configured to close a circuit, switch an interrupt signal, or switch some other electrical trigger signal between devices at the time of a shock extreme being reached, or it can be configured to latch and be polled at some time after the shock limit has occurred. dispositif de détection de choc de MEMS à verrouillage réinitialisable permettant d'enregistrer des extrêmes de chocs externes sans consommation d'énergie. Le dispositif comprend une masse d'épreuve suspendue sensible, des contacts à ressort, des verrous, et des actionneurs pour la réinitialisation. Le dispositif peut être conçu, câblé ou programmé pour le déclenchement à différents niveaux de choc. Il peut être fabriqué en simple micro-usinage pour des applications imbriquées ou portables. En cours de fonctionnement, il ne consomme aucune puissance électrique de repos. On peut le configurer pour former un circuit, commuter un signal d'interruption ou commuter un autre signal de déclenchement électrique entre dispositifs à un moment où un extrême de choc est atteint, ou bien on peut le configurer aux fins de verrouillage, avec interrogation un certain temps après la limite de choc..