ARC SUPPRESSOR FOR ELECTRON GUN

An arc suppressor is provided for an electron gun of the type used e.g. in semiconductor lithography equipment. The arc suppressor prevents damaging emission properties of the electron gun either due to variation of the cathode work function or any damage to the emitter apex. The arc suppressor includes a resistance and an inductor in series with each electrode lead providing voltage or current to the various electrodes of the electron gun. The inductance is provided by a ferrite toroid which contains a plurality of holes in addition to the main central hole. The leads for each electrode are wrapped around the toroid through the various holes, with one hole being provided for each lead. Thus advantageously each lead is isolated magnetically from the others, reducing the transformer and capacitive effects that couple one lead to another. Éliminateur d'arc destiné à un canon électronique, comme ceux équipant le matériel de lithographie à semi-conducteur. L'éliminateur d'arc empêche la dégradation des propriétés d'émission du canon électronique causée, soit par les variations inhérentes au fonctionnement cathodique, soit par l'endommagement du sommet de l'émetteur. L'éliminateur d'arc comprend une résistance et un inducteur placés en série avec chaque tige d'électrode et qui assurent une tension ou un courant aux diverses électrodes du canon électronique. L'inductance est assurée par un tore à ferrite présentant, outre un orifice principal central, plusieurs autres orifices. Les tiges de chaque électrode sont enroulées autour d'un tore par les divers orifices, un orifice correspondant à chaque tige, ce qui assure l'isolation magnétique des tiges et réduit les effets capacitifs et de transformateur qui entraînent le couplage des tiges entre elles.