método de autofocalização e dispositivo de autofocalização

processo de autofocalização e conjunto de auto-focalização a presente invenção se baseia em um processo de auto- focalização, no qual luz de uma fonte luminosa (12) é focalizada em um foco de luz medidora (52) em um ensaio (6), sendo dali retornado, isto é, refletido, sendo que a luz refletida é con...

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Hauptverfasser: Paul Hing, Sven Hensler
Format: Patent
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Beschreibung
Zusammenfassung:processo de autofocalização e conjunto de auto-focalização a presente invenção se baseia em um processo de auto- focalização, no qual luz de uma fonte luminosa (12) é focalizada em um foco de luz medidora (52) em um ensaio (6), sendo dali retornado, isto é, refletido, sendo que a luz refletida é conduzida por um sistema óptico (22) em dois percursos luminosos (48,50) para ao menos dois elementos detectores (72, 7 4 ). para conseguir uma focalização automática rápida e precisa no ensaio, é proposto que o foco da luz medidora (52) seja movido em camadas que refletem luz com intensidade variável do ensaio (6), estando os elementos de detecção (72,74) dispostos de tal modo que no caso os percursos de uma propriedade de irradiação, registrada pelos elementos detectores (72,74) são variados , sendo ajustada uma posição de focalização na dependência dos percursos. The invention is based on an autofocus method in which light from a light source is focused at a measurement light focus in a sample and is reflected from there and the reflected light is guided through an optical system in two light paths onto at least two detector elements. In order to achieve fast and accurate automatic focusing on the sample, it is proposed that the measurement light focus is moved in layers of the sample which reflect light to different extents, and the detector elements are arranged in such a way that, in this case, profiles of a radiation property registered by the detector elements are different and a focus position is set in a manner dependent on the profiles.