mÉtodos e aparelho para fazer revestimentos usando deposiÇço de pulverizaÇço ultrassânica

MÉTODOS E APARELHO PARA FAZER REVESTIMENTOS USANDO DEPOSIÇçO DE PULVERIZAÇçO ULTRASSâNICA. Deposição de pulverização ultrassônica (USD) usada para depositar uma camada base no substrato, seguido por infiltração de vapor químico (CVI) para introduzir uma fase de aglutinador que cria um revestimento composto com boa aderência do aglutinador ás partículas da fase inicial e aderência do revestimento composto ao substrato, é revelada. Nós usamos este processo para criar revestimentos que consistem de nitreto de boro cúbico (cBN), depositado usando USD, e nitreto de titânio (TiN) aplicado usando CVI em várias configurações. Este processo pode ser usado com muitos materiais não usáveis com outros processos,incluindo nitretos, carbonetos, carbonitretos, boretos, óxidos, sulfetos e silicietos. Adicionalmente, outros processos de tratamento de aglutinação ou pós-deposição podem ser aplicados como alternativas ao CVI, dependendo do substrato, dos materiais de revestimento, e dos requisitos de aplicação do revestimento. Revestimentos podem ser aplicados a uma variedade de substratos incluindo aqueles com geometrias complexas. A aplicação também descreve projetos de aparelhos ou equipamentos usados para executar deposição de pulverização ultrassônica. Ultrasonic spray deposition (USD) used to deposit a base layer on the substrate, followed by chemical vapor infiltration (CVI) to introduce a binder phase that creates a composite coating with good adherence of the binder to the initial phase particles and adherence of the composite coating to the substrate, is disclosed. We have used this process to create coatings consisting of cubic boron nitride (cBN), deposited using USD, and titanium nitride (TiN) applied using CVI in various embodiments. This process can be used with many materials not usable with other processes, including nitrides, carbides, carbonitrides, borides, oxides, sulphides and silicides. In addition, other binding or post-deposition treatment processes can be applied as alternatives to CVI, depending on the substrate, the coating materials, and the application requirements of the coating. Coatings can be applied to a variety of substrates including those with complex geometries. The application also describes apparatus or equipment designs used to perform ultrasonic spray deposition.