detector para sensorear uma intensidade de um feixe de elétrons gerado, e, método e aparelho para irradiar uma área alvo com um feixe de elétrons emitido ao longo de uma trajetória

DETECTOR PARA SENSOREAR UMA INTENSIDADE DE UM FEIXE DE ELéTRONS GERADO, E, MéTODO E APARELHO PARA IRRADIAR UMA áREA ALVO COM UM FEIXE DE ELéTRONS EMITIDO AO LONGO DE UMA TRAJETóRIA. Um detector e um método são expostos para sensorear uma intensidade de um feixe de elétrons (106). Um detector exempla...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ANDERS KRISTIANSSON, LARS AKE NOSLUND, HANS HALLSTADIUS
Format: Patent
Sprache:por
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