detector para sensorear uma intensidade de um feixe de elétrons gerado, e, método e aparelho para irradiar uma área alvo com um feixe de elétrons emitido ao longo de uma trajetória

DETECTOR PARA SENSOREAR UMA INTENSIDADE DE UM FEIXE DE ELéTRONS GERADO, E, MéTODO E APARELHO PARA IRRADIAR UMA áREA ALVO COM UM FEIXE DE ELéTRONS EMITIDO AO LONGO DE UMA TRAJETóRIA. Um detector e um método são expostos para sensorear uma intensidade de um feixe de elétrons (106). Um detector exemplar inclui uma estrutura compósita de múltiplas camadas (104) possuindo um núcleo condutor (110), uma camada isolante (112) formada no núcleo condutor (110), e uma camada externa condutora (114) eletricamente conectada a um potencial de voltagem e formada na camada isolante (112). Um suporte (116) é configurado para localizar o núcleo condutor (110) em alinhamento com um gerador de feixes de elétrons (102), entre um gerador de feixes de elétrons (102) e uma área alvo (108), e dentro de uma trajetória direta do feixe de elétrons (106) que será gerado pelo gerador de feixes de elétrons (102). A detector and method are disclosed for sensing an intensity of an electron beam. An exemplary detector includes a multilayer composite structure having a conductive core, an insulating layer formed on the conductive core, and an outer conductive layer electrically connected to a voltage potential and formed on the insulating layer. A support is configured to locate the conductive core in alignment with an electron beam generator, between an electron beam generator and a target area, and within a direct path of an electron beam to be generated by the electron beam generator.